镀锡凸块Pillar:专为铜柱上镀锡凸块工艺设计,电流密度大,沉积速率高,且凸块均一。
操作条件
参 数
范 围
最 佳 值
锡浓度
45 – 55 g/L
50 g/L
酸浓度
80 - 120 g/L
100 g/L
温度
40 – 60 ℃
50 ℃
REM-3000 A剂
80 – 120 ml
100 ml
REM-3000 B剂
4 – 6 ml
5 ml
溶液搅动
强力搅动
电流密度
5 - 50 ASD
30 ASD