Ø 电镀质量方面
(1) 高均匀性
(2) 良好的填孔能力
Ø 生产效率方面
(1) 较大的电流密度范围
(2) 支持多种工艺和结构
Ø 设备性能和可靠性方面
(1) 高精度的电源系统
(2) 高效的过滤和循环系统
